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  • Park
    NX10
    AFM Technology
 

Accurate AFM Solutions for General Research

Tall Sample 1.5 µm step height

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  • 扫描模式:非接触模式,Z轴位置传感器的形貌

Flat Sample Atomic steps of sapphire wafer

flatsample-Atomic-step-of-sapphire-wafer
  • 台阶高度0.3 nm,扫描模式:非接触模式,Z轴位置传感器的形貌
 

Hard Sample Tungsten film

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  • 扫描模式:非接触模式,Z轴位置传感器的形貌

Soft Sample Collagen fibril

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  • 扫描模式:非接触模式,Z轴位置传感器的形貌
 

Accurate AFM Measurement with Low Noise Z Detector

Low Noise Z Detector of Park nx10 AFM

  • NX平台的关键技术改进和设计特点
  • 噪声水平为业界最低,竞品无法匹敌
  • 默认的形貌信号
Z轴探测器是全新的NX系列原子力显微镜的核心技术改进之一。它是Park独创的新型应变传感器。凭借着0.2埃的超低噪声,它一跃成为行业内噪声最低的Z轴探测器。超低噪声让Z轴探测器可作为默认的形貌信号。通过对比全新的NX系列原子力显微镜与我们前几代的原子力显微镜,我们可以轻易地看到其中的差异。如果Z轴探测器的噪声过高,用户是无法观察到蓝宝石晶片的原子台阶。Park NX系列原子力显微镜的Z轴探测器所发出的高度信号,其噪声水平与Z轴电压形貌相同。
 

Park NX Series

Z-detector-img-nxPark NX Z轴探测器的噪声水平
Z-detector-img-nx2NX10所探测的蓝宝石晶片形貌
 

Park XE Series

aZ-detector-img-xePark XE Z轴探测器的噪声水平
aZ-detector-img-xe2XE-100所探测的蓝宝石晶片形貌a
 

Accurate AFM Scan by True Non-Contact™ Mode

True Non-Contact™ Mode

park-afm-true_non_contact_mode
  • 探针磨损更低=高分辨率扫描更长久
  • 无损式探针-样品接触=样品变化程度最小
  • 避免参数依赖
non-contact-mode

Tapping Imaging

park-afm-tapping-mode
  • 探针磨损更快=扫描图像模糊
  • 破坏性探针-样品接触=样品受损变化
  • 高参数依赖性
tapping-imaging
 

The Best User Convenience by Design

Easy Tip and Sample Exchange

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独特的镜头设计让您能够轻易地从侧面更换新的探针和样品。借助安装悬臂式探针夹头中预先对齐的悬臂,您无需进行繁杂的激光准直工作。


Lightning Fast Automatic Tip Approach

tip-approach

得益于独有的探针样品接近功能,用户无需进行干预操作,且悬臂装载后仅需10秒便可进行扫描。通过监控悬臂对于接近表面的反应,Park NX10能够在悬臂装载后10秒内,让探针自动快速接近样品。正是凭借着高速Z轴扫描器的快速信息反馈和NX电子控制器的低噪声信号处理,NX系列可让探针快速接近样品表面,且无需用户干预。


Easy, Intuitive Laser Beam Alignment

 



凭借着我们先进的预准直悬臂架,悬臂在装载时激光便已完成聚焦。并且,自上而下的同轴视角(行业独一无二)让您可以轻松地找到激光光点。由于激光垂直照射在悬臂上,您可以凭直觉旋动两个定位旋钮,将激光光点随着X轴和Y轴移动。这样,您可以在激光准直界面中,轻易地找到激光并将其定位在PSPD上。此时,您只需要稍作调整实现信号的最大化,便可开始获取数据。laser-alignment

 
 

Park NX10 features

2D Flexure-Guided Scanner with 50 µm x 50 µm Scan Range

2D-Flexure-Guided-ScannerXY轴扫描器含有对称的二维柔性和高强度压电叠堆,可在保持平面外运动最少的情况下,实现高正交运动以及纳米级样品扫描下的高响应度。

Low Noise Position Sensors
position-sensors

行业领先的低噪声Z轴探测器替代Z电压,作为样貌信号。此外,低噪声XY闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下。

Step-and-Scan Automation

借助电动样品台,步进扫描模式能够允许用户自行编程多区域成像。步进扫描流程包括:

Step-and-Scan

1) Scan an image
2) Lift the cantilever
3) Move the motorized stage to a user defined coordinate
4) Approach
5) Repeat the scan

在重复成像过程中,该自动化功能可减少用户的工作,从而提高生产力。

Auto Engage by Slide-to-Connect SLD Head
SLD-head

燕尾式轨道设计,轻松更换原子力显微镜镜头。该设计可将镜头自动锁定至预对准的位置,并将其连接至控制电子元件,而重复定位精度只有几微米。借助超辐射发光二极管(SLD)的低相干性,显微镜可精确成像高度反光表面和精密测量pico-Newton力对距光谱。此外,超辐射发光二极管的波长也解决了干扰问题,让用户可随意在可见光谱实验中使用原子力显微镜。

Expansion Slot for Advanced SPM Modes and Options
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只需要将可选模块插入扩展槽,您便可激活高级高级扫描探针显微镜模式。得益于NX系列原子力显微镜的模块化设计,其产品线产品的兼容性大大提高。

High Speed 24-bit Digital Electronics
digital-electronics

所有NX系列的原子力显微镜都是由相同的NX电子控制器进行控制和处理。该控制器为一个全数字、24位高速电子单元,能够确保Park True Non-ContactTM模式下的成像精度和速度。凭借着低噪声设计和高速处理单元,该控制器是纳米级成像和精确电压电流测量的绝佳选择。嵌入式数字信号处理为原子力显微镜带来更为丰富的功能,进一步提升性价比,是高级研究员的最佳选择。

XY和Z轴探测器的24位信号解决方案
• XY轴(50 μm)的分辨率为0.003 nm
•Z轴(15 μm)的分辨率为0.001 nm

嵌入式数字信号处理功能
• 三通道灵活数字锁相
• 弹簧常数校正(热测法)
• 数字Q控制

集成式信号端口
• 专用可编程信号输入/输出端口
• 7个输入端口和3个输出端口

High Speed Z Scanner with 15 µm Scan Range
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借助高强度压电叠堆和柔性结构,标准Z轴扫描器的共振频率高达9 kHz以上(一般为10.5 kHz)且探针的Z轴移动速率不低于48 mm/秒,让信息反馈更为准确。最大Z轴扫描范围可从标准的15 µm扩展至30µm(可选购的远距离Z轴扫描器)。

Motorized XY Sample Stage with Optional Encoders
encoders

在电动样品台上加装编码器,可保证更高的重复定位精度,让样品定位更为准确。在配备编码器后,XY轴样品台的行程精度低至1 µm且重复定位精度低至2 µm,而Z轴样品台的行程精度和重复定位精度分别为0.1 μm和1 μm。

Accessible Sample Holder
Sample-holder

借助独特的镜头设计,用户可从侧面操作样品和探针。根据XY轴样品台所设定的行程范围,用户在样品台上可防止的最大样品体积为直径150 mm x 20 mm或直径200 mm x 20 mm。

Direct On-Axis High Powered Optics with Integrated LED Illumination
optics

定制物镜配有超长工作距离(51 mm,0.21的数值孔径,1.0 µm的分辨率),带来前所未有的镜头清晰度。直视同轴设计让用户可轻易地在样品表面找寻目标区域。为了达到更高的分辨率,我们采用了EL20x长行程物镜,且工作距离为20 mm,数值孔径为0.42,分辨率为0.7 µm。得益于CCD的大体积传感器,样品视角更宽,但分辨率却不受影响。由软件控制的LED光源能为样品表面提供足够的照明,以便清晰观察样品。

Vertically Aligned Motorized Z Stage and Focus Stage
focus-stage

Z轴样品台和聚焦样品台与悬臂连接,得以操控样品表面,且同时能够保证用户有着清晰的视野。此外,得益于聚焦样品台为电动且可软件控制,因此精密度可适用于透明样品和液体单元应用。

 

Park NX10 - Technical Info | Park Atomic Force Microscope