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    NX-Hivac
    High vacuum AFM
    Ideal for failure analysis
    and sensitive materials research
    park-nx-hivac

Park NX-Hivac

用于故障分析与气氛敏感材料研究的高真空原子力显微镜

Park NX-Hivac通过为失效分析工程师提供高真空环境来提高测量敏感度以及原子力显微镜测量的可重复性。与一般环境或干燥N2条件相比,高真空测量具有准确度高、可重复性好及针尖和样本损伤低等优点,因此用户可测量各种故障分析应用中许多信号响应,例如扫描扩散电阻显微术(SSRM)的掺杂物浓度。

Park NX-Hivac使得真空环境中高精确度和高分辨率测量的材料科学研究远离氧气与其它药剂的影响。

Brochures

 

在高真空条件下执行扫描扩散电阻显微镜测量可减少所需的针尖-样本相互作用力,从而大幅度降低对样本和针尖的损伤。如此可延长各针尖的使用寿命,使扫描更加低成本和便捷,并通过提高空间分辨率和信噪比得到更为精确的结果。因此,利用NX-Hivac进行的高真空扫描扩散电阻显微术测量可谓是故障分析工程师增加其吞吐量、减少成本和提高准确性的明智选择。

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Park Hivac 管理器

NX-Hivac 真空自动控制

Hivac 管理器通过一键单击在逻辑和视觉上控制最佳真空条件抽气和排气过程来实现高真空。各个过程通过颜色和图示变化得到直观监控,一键单击后您即可无需操心真空操作顺序。更快速、更简便的真空控制软件使原子力显微镜的使用更便捷更高效。

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高级自动化特点

NX-Hivac具有大量功能从而能够最大化减少用户输入。换言之,您可以更快速地扫描,提高实验室产量。

 

配备电控载物台的StepScan 自动化扫描

StepScan允许用户能够对器件进行编程从实现而快速便捷地多区域成像。NX-Hivac让您只需五步即可完成样本扫描:扫描、提升悬臂、移动电动平台至用户定义坐标区域、进针及重复扫描。如此可极大地提高生产率,最大化减少用户输入。

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电动激光对准

Park电动激光对准使用户无需输入即可无缝衔接自动化测量例程。凭借着我们先进的预准直悬臂架,在更换探针时激光已对准悬臂。只需要调整定位旋钮,便可在X和Y轴上任意定位激光光点,达到最佳位置。

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提高精度和生产率

NX-Hivac即是全球最精准的高性能原子力显微镜,同时也是用于故障分析的最简单方便的原子力显微镜之一。Park NX-Hivac帮您可以提高自己的生产效率,并确保取得靠谱的结果。

 

闭环XY和Z轴扫描仪

利用两个独立的闭环XY和Z轴挠曲扫描仪,您可以确信扫描的高精准度。NX-Hivac提供低残余弯曲的平面和正交XY轴扫描,使得整个扫描范围内的离面运动距离低于1 nm。此外,NX-Hivac的特色还有非线性为低于0.5%的15 μm扫描范围的高速Z轴扫描仪,无需进行软件后期处理即可获得精准的二维和三位测量。


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低噪声XYZ轴位置传感器

NX-Hivac具有Park原子力显微镜行业领先的低噪声Z轴探测器功能,可准确测量样本形貌,同时低噪声XY轴闭环扫描将前后扫描间隙降低至扫描范围的0.15%。


24位数字电子控制器

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NX-Hivac的一大特点是NX系列电子控制器可实现时间浪费最小化、精度最大化。我们的控制器为全数字、24位高速器件,用户能够利用其执行一系列扫描,包括我们的真正非接触(True Non-Contact)模式。控制器具有低噪声设计和高速处理部件,是精密电压和电流测量及纳米级成像的绝佳之选。嵌入式电子产品同时具有数字信号处理特点,用户可轻松地分析测量值和成像。

 

Specification

Scanner

XY scanner: 50 μm × 50 μm (100 μm x 100 μm optional)
Z scanner: 15 μm

Optics

Objective lens: 10×
5M pixel CCD

Sample Stage

XY stage travel: 22 mm x 22 mm
Sample size: 50 mm x 50 mm, up to 20 mm thickness

Physical
Information

Inner vacuum chamber: 300 mm x 420 mm x 320 mm
Outer vacuum (including granite & pump): 800 mm x 950 mm x 730 mm

Software

SmartScan: Park AFM operating software
XEI: AFM data analysis software
Hivac Manager: Auto vacuum control software

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High Vacuum

Vacuum level: Typically less than 1 x 10-5 torr
Pumping speed: Reach to 10-5 torr within 5 min.

Electronics

ADC: 18 channels
4 high-speed ADC channels (50 MSPS)
24-bit ADCs for X, Y, and Z position sensor

DAC: 12 channels
2 high-speed DAC channels (50 MSPS)
20-bit DACs for X, Y, and Z positioning
3 channels of integrated lock-in amplifier

 

High vacuum AFM | Scanning Spreading Resistance Microscopy (SSRM) - Park Systems