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  • Park
    NX20
    AFM Technology
 

Accurate AFM Solutions for FA and Research Laboratories

Sidewall measurements for 3D structure study

3D-wall

NX20的创新构造让您可以检测样品的侧壁和表面,并能够测量角度。众多的功能和用途正是您的创新性研究和敏锐洞察力所必备的。


Surface roughness measurements for media and substrates

表面光洁度测量是Park NX20的关键应用之一,能够带来精确的失效分析和质量保证。
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surface-roughness

High resolution electrical scan mode

tech-quickstep

QuickStep SCM
最快的扫描式电容显微镜

PinPoint iAFM
无摩擦导电原子力显微镜

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Accurate and Reproducible Measurements for Better Productivity

Tip Wearing Experiment with CrN Sample

Tip Wearing Experiment with CrN Sample
  • 通过对比重复扫描情况下探针尖端的形状变化,您可以轻易看到Park的True Non-Contact模式的优势之处。

Reproduce Best AFM Measurement

ETD-Non-Contact
  • 借助True Non-Contact模式,探针尖端在扫描氮化铬样品(即探针检测样品)200次后仍可保持锋利的状态。氮化铬的表面粗糙且研磨性强,会让普通的探针很快变钝。
 

Accurate AFM Topography with Low Noise Z Detector

True Sample Topography™ without piezo creep error

我们的原子力显微镜配有最有效的低噪声Z轴探测器,宽噪音带宽仅有0.02 nm。这能够带来超精确的样品形貌,不会受沿过冲影响,而且无需校准。这仅仅是Park原子力显微镜为您节省时间,带来更好精确数据的方式之一。

  • 形貌使用了低噪声Z轴探测器信号
  • 宽带宽下0.02 nm的低Z轴探测器噪声
  • 前沿和后沿无过冲
  • 宽带宽下0.02 nm的低Z轴探测器噪声

Park NX AFM

no-creep-effect

Conventional AFM

creep-effect
 
 

Park NX20 features

2D Flexure-Guided Scanner with 100 µm x 100 µm Scan Range

2D-Flexure-Guided-ScannerXY轴扫描器含有对称的二维柔性和高强度压电叠堆,可在保持平面外运动最少的情况下,实现高正交运动以及纳米级样品扫描下的高响应度。

Low Noise Position Sensors
position-sensors

行业领先的低噪声Z轴探测器替代了Z电压作为样貌信号。此外,低噪声XY闭环扫描可将正向扫描和反向扫描的间隙降至扫描范围的0.15%以下。

Step-and-Scan Automation

借助电动样品台,步进扫描模式能够允许用户自行编程多区域成像。步进扫描流程包括:

Step-and-Scan

1) Scan an image
2) Lift the cantilever
3) Move the motorized stage to a user defined coordinate
4) Approach
5) Repeat the scan

在重复成像过程中,该自动化功能可减少用户的工作,从而提高生产力。

Auto Engage by Slide-to-Connect SLD Head
SLD-head

燕尾式轨道设计,可轻松更换原子力显微镜镜头。该设计可将镜头自动锁定至预对准的位置,并将其连接至控制电子元件,而重复定位精度只有几微米。借助超辐射发光二极管(SLD)的低相干性,显微镜可精确的成像高度反光表面,精密测量pico-Newton力对距光谱。此外,超辐射发光二极管的波长也解决了干扰问题,让用户可随意在可见光谱实验中使用原子力显微镜。

Expansion Slot for Advanced SPM Modes and Options
expansion-slot

您只需要将可选模块插入扩展槽,您便可激活高级高级扫描探针显微镜模式。得益于NX系列原子力显微镜的模块化设计,其产品线的配置兼容性大大提高。

High Speed 24-bit Digital Electronics
digital-electronics

所有NX系列的原子力显微镜都是由相同的NX电子控制器进行控制和处理的。该控制器为一个全数字、24位高速电子单元,能够确保Park True Non-ContactTM模式下的成像精度和速度。凭借着低噪声设计和高速处理单元,该控制器是纳米级成像和精确电压电流测量的绝佳选择。嵌入式数字信号处理为原子力显微镜带来更为丰富的功能,进一步提升性价比,是高级研究员的最佳选择。

24-bit signal resolution for XY and Z detectors
• XY轴(50 μm)的分辨率为0.003 nm
• Z轴(15 μm)的分辨率为0.001 nm

Embedded digital signal processing capability
• 三通道灵活数字锁相·弹簧常数校正(热测法)
• 三通道灵活数字锁相·弹簧常数校正(热测法)d

Intergrated signal access ports
• 专用可编程信号输入/输出端口
• 7个输入端口和3个输出端口

High Speed Z Scanner with 15 µm Scan Range
z-scanner

借助高强度压电叠堆和柔性结构,标准Z轴扫描器的共振频率高达可以达到9 kHz以上(一般为10.5 kHz)且探针的Z轴移动速率不低于48 mm/秒,让信息反馈更为准确。而且最大Z轴扫描范围可从标准的15 µm扩展至30µm(可选购的远距离Z轴扫描器)。

Motorized XY Sample Stage with Optional Encoders
encoders

在电动样品台上加装编码器,可保证更高的重复定位精度,让样品定位更为准确。在配备编码器后,XY轴样品台的行程精度低至1 µm且重复定位精度低至2 µm,而Z轴样品台的行程精度和重复定位精度分别为0.1 μm和1 μm。

Accessible Sample Holder
Sample-holder

借助独特的镜头设计,用户可从侧面操作控样品和探针。根据XY轴样品台所设定的行程范围,用户在样品台上可放置的最大样品体积为直径150 mm x 20 mm或直径200 mm x 20 mm。

Direct On-Axis High Powered Optics with Integrated LED Illumination
optics

定制物镜配有超长工作距离(51 mm,0.21的数值孔径,1.0 µm的分辨率),带来前所未有的镜头清晰度。直视同轴设计让用户可轻易地在样品表面找寻目标区域。为了达到更高的分辨率,我们采用了EL20x长行程物镜,且工作距离为20 mm,数值孔径为0.42,分辨率为0.7 µm。得益于CCD的大体积传感器,样品视角更宽,但分辨率却不受影响。由软件控制的LED光源能为样品表面提供足够的照明,以便清晰观察样品。

Vertically Aligned Motorized Z Stage and Focus Stage
focus-stage

Z轴样品台和聚焦样品台与悬臂连接,得以操控样品表面,且同时能够保证用户有着清晰的视野。此外,得益于聚焦样品台为电动且软件可控装置,精密度可以适用于透明样品和液体单元应用。

 

Park NX20 - Technical Info | Park Atomic Force Microscope