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  • Park
    NX20
    AFM Modes
 

QuickStep SCM Mode

  • 比传统的扫描式电容显微镜(SCM)扫描速度快十倍
  • 信号灵敏度、空间分辨率和数据精确度不受影响

High Throughput QuickStep Scan

在QuickStep扫描模式下,SCM测量通量大幅提升,可达到标准SCM扫描速度的十倍,且信号灵敏度、空间分辨率和数据精确度不受影响。在QuickStep扫描模式下,XY轴扫描器在各像素点停住,记录数据。扫描器会在各像素点之间快速跳跃。

QuickStep Scan

quickstep-scan

Rather than continuous movements, the XY scanner stop at each data acquisition point.

quickstep-scan-rate

Scan rate 1.5Hz

Conventional Scan

conventianal-scan
 
conventianal-scan-rate

Scan rate 1Hz

Scan size: 10µm×3µm, AC Bias: 0.5 Vp-v, DC Bias: 0 V


Accurate Dopant Profiling by Park SCM

在半导体制造业,分析掺杂剂分布对于确定失效原因和进行设计改进有着重要作用。在器件特性化方面,SCM有着独一无二的二维量化掺杂剂分布分析能力。

scm-signal
 

PinPoint Conductive AFM Mode

PinPoint导电原子力显微镜模式是针对探针和样品之间的指定电接点而开发设计的。在电流采样过程中,XY轴扫描器会依据用户设定的接触时间停止。PinPoint导电原子力显微镜模式能够带来更高的空间分辨率,且不受 侧向力的影响,同时在不同样品表面的电流测量也得到优化。

 

PinPoint Mode

pinpoint-scan

Contact

Tapping

contact-scan

Sample: ZnO nano-rods, -3 V sample bias

通过对比氧化锌纳米棒在不同类型的导电原子力显微镜图像,我们可以看到相比轻敲式导电原子力显微镜,传统的接触式导电原子力显微镜有着更高精度的电流测量,但其分辨率低,原因在于探针在接触中快速磨损。全新的PinPoint导电原子力显微镜不但空间分辨率更高,且电流测量也得到优化。


High-bandwidth, Low-noise Conductive AFM

导电原子力显微镜是各类元件研究的重要工具,特别是工业的失效分析。Park导电原子力显微镜在市场中竞争力最强,不但有着全行业最低的电流噪声,且增益范围也是最大。

  • The lowest current noise 业内最低的电流噪声(0.1 pA)
  • 业内最大的电流(10 μA)
  • 最大的增益范围(7个数量级,103-109)
 

Park NX20 advanced SPM modes

Surface Roughness Measurement

Park NX20 - AFM Modes | Park Atomic Force Microscope