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  • Park
    NX20 300mm
    Atomic Force Microscope
    The leading automated nanometrology tool for
    300 mm wafer measurement and analysis

Park NX20 300mm

可用于 300mm晶片圆测量和分析的顶级自动化纳米测量工具

Park NX20 300mm是业界首个大样品原子力显微镜,支持300mm×300mm全程机动化。新升级的Park NX20系统专为失效分析和质量控制实验室设计,可有效地检测整个300mm晶圆,且无需任何繁琐的样品位移。尽管扩大了支持300mm样品的机动XY工作台,但Park的创新性振动隔离技术仍然能够将系统噪声保持在低于0.5 (Å) RMS,通常是0.3 Å RMS的水平。

经检验的原子力显微镜性能和单击-原子力显微镜自动化取消了样本调整的需求,并使Park NX20的扫描过程尽可能高效和便于使用。通过我们的“批处理模式(Program Mode)”界面,用户可以在整个300mmx300mm区域轻松实现可靠与可重复的顺序多站点测量。NX20 300 mm从而成为需要扫描大样品的FA、QA和QC工程师的首选。

Brochures

 

专为大样品晶圆检测而建

NX20 300 mm进行了全新设计,可达到大样品的最佳测量。整个300mm晶圆区域可进行低噪声原子力显微镜测量分析。这开启了一个全新的自动化测量范围,让工程师可以更快捷、更简便、更精确地开展工作。

 

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灵活的300mm样品吸盘

Park NX20 300mm真空吸盘支持各种尺寸、形状和类型的晶圆,让用户几乎可准确扫描任何样品。

 

300mm XY轴工作台

机动化的300mm XY轴工作台允许用户在300mm的全部区域内移动原子力显微镜的测量位置。

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NX20 支持300mm样品台,性能已被证实

因其无与伦比的易用性和自动化以及不受影响的精度,NX20已是FA、QA和QC工程师的最佳选择。凭借其支持300mm电动XY轴工作台的扩大平台,NX20 300mm更上一层楼,允许用户轻松地以极高的精度检测更大的样品。

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Park SmartScan™让精确测量更为简单

Park NX20配备了我们的SmartScan操作系统,使其成为市场上最易于使用的原子力显微镜之一。通过直观且极为强大的界面,即便是未经培训的用户无需协助也可快速扫描大样品。这使高级工程师能够集中精力解决更大的问题和开发更好的解决方案。

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a在完整300mm晶圆上扫描多个位点

SmartScan™允许用户从位点到位点和样品到样品的层面上,借助基于网格和晶圆的模式,进行自动顺序测量与表面形态、高度和表面粗糙度的比较。这可以大大提高扫描大样品时的用户便利性和生产效率。

b强大的工作创建功能

格式创建流程简单,允许工程师设置每个批次的位置、名称、数量和类型所定义的预设。

 

针对广泛应用性进行优化

NX20 300mm为众多应用提供自动格式的原子力显微镜测量,为纳米级的样品提供高级测量和分析。具有粗糙度、高度和深度测量,缺陷检查,电气和磁故障分析,热性能表征和纳米力学性能成像等能力,该原子力显微镜是检测大样品的FA、QA和QC工程师执行各种任务的理想选择。

 

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Specification

Scanner

XY scanner: 100 μm × 100 μm
Z scanner: 15 μm, (30 μm optional)*

Stage

XY travel range: 300 mm x 300 mm
Z travel range: 25 mm
Focus travel range: 8 mm
Precision encoder for all axes* (optional)

Electronics

ADC: 18 channels
4 high-speed ADC channels (50 MSPS)
24-bit ADCs for X, Y, and Z position sensor

DAC: 12 channels
2 high-speed DAC channels (50 MSPS)
20-bit DACs for X, Y, and Z positioning
3 channels of integrated lock-in amplifier

Vision

Direct on-axis vision of sample and cantilever
Coupled with 10x objective lens (20x optional)*
Field-of-view: 480 x 360 μm
CCD: up to 5Mpixel

Sample Mount
& Size

Vaccum groove holder:
100, 150, 200, 300 mm wafers, small sample Magnetic sample holder Up to 20 mm thickness

Physical
Information

Dimension:
1220 mm (W) × 1170 mm (D) × 1470 mm (H)

Software
Park SmartScan

AFM system control and data acquisition software
Auto mode, Manual mode
Program mode for recipe-automated, sequential multiple-site measurement AFM operation

Options/Modes*

Various options are available for wide range applications

 

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