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    HDM Series
    AFM Applications
 

Automatic Defect Review for Media and Substrates

Higher Throughput, Automatic Defect Review

NX-HDM的自动缺陷检查功能(Park ADR)可加速和改良媒介和基体缺陷的识别、扫描和分析流程。借助光学检查工具所提供的缺陷位置图,Park ADR可自动定位这些位置并进行成像(分两步):
(1) 缩小扫描成像,以准确定位缺陷。
(2) 放大扫描成像,以获取缺陷的细节。在真实缺陷测试中,我们可以看到相比于传统的方法,该自动功能可将缺陷检查通量提高10倍。

Automated Search Scan & Zoom-in Scan

经过优化的扫描参数让两步式扫描更为快速:
(1) 快速的低分辨率搜寻式扫描,来准确定位缺陷。
(2) 高分辨率的放大扫描,来获取缺陷的细节。可调节的扫描尺寸和扫描速度参数能满足用户的所有需求。defect-review2

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Automatic Transfer and Alignment of Defect Maps to AFM

借助独有的先进映射算法,从自动光学检测(APO)工具中获取的缺陷坐标图可准确地传入和映射至Park NX-HDM。该技术让全自动高通量缺陷成像成为可能。

Map of Defect Coordinates from an Optical Inspection Tooldefect-maps
 

Accurate Sub-Angstrom Surface Roughness Measurement

Sub-Angstrom, Surface Roughness Measurement

业内对于超平媒介和基体的要求越来越高,所以需要满足设备体积不断减小的需求。此外,Park NX-HDM拥有精确的次埃米表面粗糙度测量功能。凭借着业内最低的本底噪声和独特的True Non-Contact™技术,Park NX-HDM毫无疑问是市面上表面粗糙度测量最精确的原子力显微镜。

tip long term 1tip long term 2

 

Accurate AFM Scan by True Non-Contact™ Mode

True Non-Contact™ Mode

non-contact
  • 探针磨损更低=高分辨率扫描更长久
  • 无损式探针-样品接触=样品变化程度最小
  • 避免参数依赖
non-contact-mode

Tapping Imaging

tapping-imaging
  • 探针磨损更快=扫描图像模糊
  • 破坏性探针-样品接触=样品受损变化
  • 高参数依赖性
tapping-imaging
 

Accurate AFM Topography with Low Noise Z Detector

True Sample Topography™ without piezo creep error

  • 形貌使用了低噪声Z轴探测器信号
  • 宽带宽下0.02 nm的低Z轴探测器噪声
  • 前沿和后沿无过冲
  • 只需出厂前进行一次校准

Park NX AFM

no-creep-effect

Conventional AFM

creep-effect
 
 

Park NX-HDM features

Fully Automated Pattern Recognition
zsta2

借助强大的高分辨率数字CCD镜头和图形识别软件,Park NX-HDM让全自动图形识别和对准成为可能。

Automatic Measurement Control

automatic-measurement-control-hdm
自动化软件让NX-HDM的操作不费吹灰之力。测量程序针对悬臂调谐、扫描速率、增益和点参数进行优化,为您提供多位置分析。

自动化软件会按照测量文件中预设的程序进行样品测量。Park的用户友好型软件界面让用户可灵活执行全系统功能。创建新测量文件只需要10分钟左右的时间,而修改现有的测量文件则需要不到5分钟的时间。

Park NX-HDM具有:
• 自动、半自动和手动模式
• 各自动程序的可编辑测量方法
• 测量过程实时监测
• 自动分析所获取的测量数据

2D Flexure-Guided Scanner with 100 µm x 100 µm Scan Range

2D-Flexure-Guided-Scanner
XY轴扫描器含有对称的二维柔性和高强度压电叠堆,可在保持平面外运动最少的情况下,实现高正交运动以及纳米级样品扫描下的高响应度。

Closed-loop XY Scan with Dual Servo System

dual-servo-afm-system
XY轴扫描器的各轴上配有两个对称的低噪声位置感应器,得以在最大的扫描范围和样品尺寸下保持高正交扫描。双感应器能够修正和补偿单感应器引起的非线性和非平面位置误差。

High Speed Z Scanner with 15 µm Scan Range

9 9 11借助高强度压电叠堆和柔性结构,标准Z轴扫描器的共振频率高达9 kHz以上(一般为10.5 kHz)且探针的Z轴移动速率不低于48 mm/秒,让信息反馈更为准确。最大Z轴扫描范围可从标准的15 µm扩展至40µm(可选购的远距离Z轴扫描器)。

Low Noise XYZ Position Sensors

position-sensors行业领先的低噪声Z轴探测器替代Z电压,作为样貌信号。此外,低噪声XY闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下。

Industry’s Lowest Noise Floor
2 Low-Noise-Floor

为了检测最小的样品特征和成像最平的表面,Park推出行业本底噪声最低(< 0.5Å)的显微镜。本底噪声是在"零扫描"情况下确定的。当悬臂与样品表面接触时,在如下情况下测量系统噪声:

• 0 nm x 0 nm扫描范围,停在一个点
• 0.5增益,接触模式
• 256 x 256像素

 

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