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  • Park 3DM Series
    Automated Industrial AFM
    for High-Resolution 3D Metrology

Automated Industrial AFM for High-Resolution 3D Metrology

Park Systems推出革命性的XE-3DM全自动原子力显微镜系统,专为垂悬轮廓、高分辨率侧壁成像和临界角的测量而设计。借助独有的XY轴和Z轴独立扫描系统和倾斜式Z轴扫描器,XE-3DM成功克服精确侧壁分析中的法向和喇叭形头所带来的挑战。在True Non-Contact™模式下,XE-3DM可实现带有高长宽比尖端的柔软光刻胶的无损测量。

Park NX-3DM

Park NX-3DM


Brochures

 

Accuracy Like Never Before

随着半导体越变越小,设计如今需要做到纳米级,但是传统的测量工具无法满足纳米级的设计和制造所要求的精确度。面对这一行业测量所带来的挑战,Park Systems取得了众多技术突破,如串扰消除(XE),其可以实现无伪影和无损成像;全新的3D原子力显微镜,让侧壁和侧凹特征的高分辨率成像成为可能。

Throughput Like Never Before

受限于低通量,纳米级设计无法用于生产质量控制中,但原子力显微镜让这一切成为可能。随着Park Systems发布革命性的高通量解决方案,原子力显微镜也得以进入自动化线上制造领域。这其中包括创新的磁性探针更换功能,成功率高达99%,高于传统的真空技术。此外,流程和通量优化需要每位客户的积极配合,提供完整的原始数据。。

Cost-Effectiveness Like Never Before

纳米测量的精确性和高通量需要搭配高成本效益的解决方案,才能够从研究领域扩展到实际生产应用中。面对这一成本挑战,Park Systems带来了工业级的原子力显微镜解决方案,让自动化测量更快、更高效,让探针更耐久!我们放弃了慢速又昂贵的扫描电子显微镜,转而采用高效、自动化且价格实惠的3D原子力显微镜,进一步降低线上工业制造的测量成本。现如今,制造商需要3D信息来表现沟槽轮廓和侧壁变形异特征,从而准确找到新设计中的缺陷。模块化原子力显微镜平台实现了快速的软硬件更换,使得升级更为划算,从而不断优化复杂并且苛刻的生产质量控制测量。此外,我们的原子力显微镜探针使用寿命延长至少2倍,进一步减少购置成本。传统的原子力显微镜采用轻敲式扫描,这让探针更易磨损,而我们的True Non-Contact™模式能够有效地保护探针,延长其使用寿命。

 

Park 3DM Series - Overview | Park Atomic Force Microscope