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    3DM Series
    AFM Options
 

High-Throughput Inline Automation

Automatic Tip Exchange (ATX)

借助自动探针更换功能,自动测量程序能够做到无缝衔接。该系统会参考图形测量数据,自动校正悬臂的位置和优化测量设定。创新的磁性探针更换功能,成功率高达99%,远远高于传统的真空技术。

 

Automatic Wafer Handler (EFEM or FOUP)

您可以在XE-3DM中加装自动晶片装卸器(EFEM或FOUP或其他)。高精度无损晶片装卸机械臂能够百分百保证XE-3DM用户享受到快速且稳定的自动化晶片测量服务。

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Ionization System

XE-3DM可搭载离子化系统,能够有效消除样品的静电电荷。并且系统随时可生产位置正离子和负离子之间的理想平衡,从而可以稳定地离子化带电物体,且不会污染周边区域。它也可以消除样品处理过程中意外生成的静电电荷。

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