Crosstalk Elimination (XE)

アーティファクトの無いイメージングと究極なAFM分解能への挑戦！

アーティファクトの無いイメージング：スキャナーの湾曲（ボウイング）を無くしフラットなXY走査

従来のAFMはXYZスキャナーにチューブスキャナー方式を使用しているため、XY方向の動きがチューブスキャナーの曲がりによって左右されます。しかし、この湾曲する動きによって、Z方向の位置に誤差が生じ、バックグラウンドに湾曲が発生します。従来システムは一般的に湾曲したバックグラウンドを隠すために平坦化補正ソフトウェアを使用します。ただし、湾曲の量はスキャンサイズやスキャン速度によって異なるだけでなく、XY方向のオフセットやZ方向の位置などによっても異なるので、この湾曲の量を正確に差し引くのは不可能です。したがって、ソフトウェア平坦化補正後でも、図のように、フラットな表面がフラットに「見えない」のです。

究極なAFM分解能：完全ノンコンタクトAFMによるTipの長寿命化


	チューブスキャナーは、Z方向のスキャン周波数帯域がわずか500Hzのきわめて限られた、レスポンスの遅いアクチュエーターです。したがって、Z方向サーボ機構のレスポンスが遅く、プローブチップを長持ちさせたり、柔らかい生物試料を非破壊で画像化するのに不可欠な能力である非接触モードを実行することができません。

XEテクノロジー：パークシステムズのフラットXYスキャンとチップの長寿命がその答え！

アーティファクトの無いイメージングと究極なAFM分解能への挑戦は全く新しいアプローチのAFM設計が要求されます。パークシステムズはXYスキャナーがサンプルだけを動かし、Zスキャナーはプローブを上下させる完全分離されたスキャナーをベースに、クロストーク除去(XE)AFMを開発しました。XE-AFMはスキャナーの根本的な湾曲を無くしフラットなXYスキャンを実現しました。また劇的に向上したフィードバック制御（Zサーボレスポンス）により完全非接触モードを可能にし、Tipの長寿命化をもたらしました。

機械的設計	特徴	利点
XYスキャナーとZスキャナーが完全に切り離されている	XYスキャナーは試料のみを移動し、Zスキャナーはプローブを駆動する	スキャナーの軌道上に弧ができず、XY方向のフラットスキャンができる
フレクシャーを用いた2D XYスキャナー	ランアウトが最小	XY方向スキャンの直線性と直交性がすぐれている
高感度・高速Z スキャナー完	Z方向サーボ機構の周波数帯域が広い	完全非接触モードを可能にする
スーパ－ルミネッセンスダイオード (SLD)	低コヒーレンス	光学干渉の除去