パークシステムズは特徴的な表面形状からステップの高さ、粗さ、オーバーハング、トレンチプロファイル、側壁粗さ、臨界角測定などをプロセス制御とキャラクタリゼーショ ン評価のために完全自動化されたAFMシステムを設計・製作しています。 弊社XEシリーズAFMは、ウルトラシャープチップを使用し、先端のダメージを低減できる完全非接触イメージングモードで表面および三次元構造を高解像度で測定します。
• 自動傾斜補正機構 • ＸＹステージコーディネートナビゲーション • リファレンスマーカー自動検出 • 自動ステージマッピング • 測定位置自動検出機能 • パターン自動検出機能 • 自動測定制御 • 自動データ解析 • 自動データエクスポート • 自動チップ交換機構• クラス1のクリーンルーム • 最大300mmのウェーハサイズ • SECⅡ、GEM及びSMIFと互換性
パークシステムズは特徴的な表面形状からステップの高さ、粗さ、オーバーハング、トレンチプロファイル、側壁粗さ、臨界角測定などをプロセス制御とキャラクタリゼーション評価のために完全自動化されたAFMシステムを設計・製作しています。 弊社XEシリーズAFMは、ウルトラシャープチップチップを使用し、先端のダメージを低減できる完全非接触イメージングモードで表面および三次元構造を高解像度で測定します。
パーク・システムズのＸＥＡはインライン用自動制御用ソフトウエアーで、指定のレシピ通り ＡＦＭ測定、データ取得、解析を行い且つ、データを転送することが出来ます。ＸＥＡは 全自動、半自動、マニュアル測定をサポートし、幅広くお使い頂けます。各測定のステップでの プロシジャーを編集したり、新たなレシピをロードしたり、自動測定を開始させたり、測定中の 状況を表示したり、測定結果を打ち出したりすることが出来ます。
Research
AFM
産業用自動化AFM
